文献综述
1、研究背景高熵合金又称多主元合金，由5种以上金属元素或非金属元素进行等摩尔配比制备。
由于具有高硬度、高塑性、高加工硬化、超强耐磨性、耐高温软化、耐腐蚀和耐高温氧化等优异的力学性能、化学性能叫以及物理性能，近十几年来，多主元高熵合金引起了材料研究者青睐。
常用高熵合金制备方法有激光熔覆法、真空熔炼法、粉末冶金法凹、机械合金化法等。
块体高熵合金由于制备工艺、合金原材料成本以及制备成本等原因限制了其广泛应用。
高熵合金薄膜涂层具有多种制备工艺、低廉的原材料成本以及制备成本，更适合于现代工业在极端环境下使用，成为高熵合金广泛应用的一个突破口[1]。
为使高熵合金薄膜在材料表面工程中获得应用,研究者多采用磁控溅射技术、电化学沉积、热喷涂法等制备高熵合金薄膜。
目前，磁控溅射技术是大多数研究者采用的方法，可获得具有优异物理性能的薄膜。
张立东等利用多靶射频磁控溅射技术制备了AlCrTaTiNi高熵合金薄膜,并对薄膜电性能和微结构进行表征。
电化学沉积法可精确控制沉积层结构。
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