摘要
低温等离子体技术作为一种新兴的非热加工技术，在环境保护、食品加工、医疗卫生等领域展现出巨大的应用潜力。
而高压高频电源作为低温等离子体发生器的核心部件，其性能直接影响着等离子体的产生效率、稳定性以及应用效果。
本文首先概述了低温等离子体技术及其应用，并介绍了高压高频电源的基本概念和研究现状。
接着，重点对低温等离子体发生器高压高频电源的设计方法进行了综述，包括电源拓扑结构的选择、参数设计、控制策略以及系统仿真与实验研究等方面。
最后，对低温等离子体发生器高压高频电源的未来发展趋势进行了展望。
关键词：低温等离子体；高压高频电源；电源拓扑；参数设计；控制策略
#1.1低温等离子体
低温等离子体，又称为非平衡态等离子体，是指一种部分电离的气体，其中电子温度远高于离子温度和中性粒子温度。
这种温度差异使得低温等离子体能够在常温常压下产生大量活性粒子，如自由基、激发态分子、离子等，从而引发一系列物理化学反应，实现对物质的改性、降解、杀菌等作用[1-3]。
#1.2低温等离子体发生器
低温等离子体发生器是产生低温等离子体的装置，其基本结构通常包括电源、放电电极和放电腔室。
电源为放电提供能量，放电电极在放电腔室内产生放电，形成等离子体。
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